派克直線電機(jī)的優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、反應(yīng)速度快、靈敏度高、隨動(dòng)性好、密封性好、不怕污染、適應(yīng)性強(qiáng)、工作穩(wěn)定可靠、壽命長(zhǎng)。但是直線電機(jī)又分兩種：一種是無(wú)鐵芯直線電機(jī)、另一種是有鐵芯直線電機(jī)（鐵芯直線電機(jī)），這兩種直線電機(jī)都各有優(yōu)勢(shì)。
無(wú)鐵芯直線電機(jī)優(yōu)勢(shì)：
★沒(méi)有吸引力 ──平衡的雙重磁軌，安全且易于處理，安裝時(shí)不需要處理吸引力
★沒(méi)有齒槽效應(yīng)──無(wú)鐵芯動(dòng)子，沒(méi)有齒槽效應(yīng)，運(yùn)行極度平滑
★低重量動(dòng)子──沒(méi)有鐵芯意味著更高的加速度及減速度，更高的機(jī)械帶寬
★固定氣隙──易于對(duì)齊及安裝
與鐵芯直線電機(jī)相比的劣勢(shì)：
★散熱方面──更高的熱敏電阻，工字型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緩解這一問(wèn)題
★同鐵芯設(shè)計(jì)相比，更低的RMS功率
★要使用兩倍量的磁鐵，增加了單位成本

、有鐵芯直線電機(jī)優(yōu)勢(shì)：
★每一尺寸更高的動(dòng)力──使用疊片結(jié)構(gòu)來(lái)集中磁通量
★更低的成本──開(kāi)放界面設(shè)計(jì)只使用單排磁鐵
★疊片結(jié)構(gòu)及大的表面面積確保良好的散熱
與無(wú)鐵芯直線電機(jī)相比的劣勢(shì)：
★正常吸引力──5到13倍于所產(chǎn)生的推力
★齒槽效應(yīng)──限制運(yùn)動(dòng)的平滑性，產(chǎn)生速度波動(dòng)。使用防齒槽技術(shù)能有效抵消齒槽效應(yīng)

派克直線電機(jī)應(yīng)用舉例：

案例一：CVD ( 化學(xué)氣相沉積) ，用于LCD, OLED 和太陽(yáng)能板真空沉積膜

案例二：VAS ( 真空安裝系統(tǒng)) ，用于AMOLED 封裝過(guò)程

案例三：XY 平臺(tái)，用于半導(dǎo)體考慮真空條件下直線電機(jī)應(yīng)用

★真空度
   ●Parker 無(wú)鐵芯直線電機(jī)采用標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)-V后可以適用于10 ^ -6 Torr 環(huán)境
★排氣孔
   ●線圈上的安裝孔直接鉆穿以消除盲孔
   ●線圈的裝飾性噴涂和修復(fù)被省略以防止可能的氣泡
   ●磁軌上也鉆有排氣孔以消除可能的氣泡
★清潔Cleaning
   ●對(duì)所有器件的特殊清潔和操作以消除任何雜物
   ●特殊的包裝用來(lái)避免運(yùn)輸過(guò)程的雜物
★在真空環(huán)境下特殊的選型計(jì)算
   ●因?yàn)檎婵窄h(huán)境下沒(méi)有任何對(duì)流冷卻，需要特殊選型和計(jì)算

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